Art

J-GLOBAL ID：201002046654338577   Reference number：80A0077987

Aluminum and aluminum alloy sputter deposition for VLSI.

VLSIのためのアルミニウム及びアルミニウム合金の蒸着

Author (2)： HARTSOUGH L D (Perkin-Elmer, California) ,  DENISON D R (Perkin-Elmer, California)
Material： Solid State Technol  (Semiconductor Products)
Volume： 22  Issue： 12  Page： 66-72  Publication year： 1979 
JST Material Number： E0226A  ISSN： 0038-111X  CODEN： SSTEA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： LSI ,...

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Terms in the title (4)： VLSI ,  アルミニウム ,  アルミニウム合金 ,  蒸着