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J-GLOBAL ID：201002074373934417   Reference number：78A0151338

GGG単結晶の酸性溶液によるメカノケミカルポリシング特性 メカノケミカルポリシングの研究 I

Author (2)： 唐木俊郎 (電電公社武蔵野電通研) ,  河西敏雄 (電電公社武蔵野電通研)
Material： Seimitsu Kikai  (精密機械)
Volume： 44  Issue： 3  Page： 333-338  Publication year： 1978 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ガドリニウム ,...

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Reference (8)：

• 1) 飯山重幸ほか : Siのメカノケミカルポリシング, 昭和45年度精機学会秋季大会学術講演会前刷(1970)213.
• 2) E. Mendel : Polishing of Silicon, SCP & Solid State Technol., 10, 8, (1967) 27.
• 3) N. Yasunaga et al. : Mechanochemical Polishing of Single Crystals with Soft Powders, Proc. I. C. P. E., (Part 1), (1974) 32.
• 4) 国富 稔 : 水熱合成法による結晶育成, 日本物理学会誌, 20, 4(1965)275.
• 5) 井田一郎ほか : 水晶板のポリシ加工に関する研究, 通研実報, 9, 3(1960)245.

Terms in the title (5)： GGG ,  単結晶 ,  酸性溶液 ,  メカノケミカルポリシング ,  研究