Art

J-GLOBAL ID：201002074435180287   Reference number：75A0218593

The flow of rarefied gases in vacum systems and problems of standardization of measuring techniques.

真空装置内の希薄気体の流れと測定技術の標準化の問題点

Author (1)： STECKELMACHER W
Material： Int Vac Congr  (Proceedings. International Vacuum Congress 6th 740325)
Volume： 6th  Page： 117-125  Publication year： 1974 
JST Material Number： K19740031  CODEN： 4  Document type： Proceedings
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： 真空 ,...

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Terms in the title (5)： 真空装置 ,  希薄気体 ,  流れ ,  標準化 ,  問題点