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J-GLOBAL ID：201002074565915807   Reference number：77A0383964

Silicon nitride coatings on molybdenum by RF reactive ion plating.

高周波反応性イオンプレーティングによるモリブデン上への窒化シリコン被覆

Author (4)： FUKUTOMI M ,  KITAJIMA M ,  OKADA M ,  WATANABE R
Material： J Electrochem Soc  (Journal of the Electrochemical Society)
Volume： 124  Issue： 9  Page： 1420-1424  Publication year： 1977 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 0013-4651  CODEN： JESOA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： イオンめっき ,...

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Terms in the title (5)： 高周波 ,  反応性 ,  イオンプレーティング ,  モリブデン ,  窒化シリコン