Art

J-GLOBAL ID：201002095211314315   Reference number：78A0260797

Effects of oxygen ion implantations on electromigration in Al thin films.

Al薄膜中のエレクトロマイグレーションに及ぼす酸素イオン注入の効果

Author (5)： D’HEURLE F ,  FIORIO R ,  GANGULEE A ,  RANIERI V ,  ZIRINSKY S
Material： Int Vac Congr  (Proceedings. International Vacuum Congress 7th 770912 Vol.1-3)
Volume： 7th  Issue： 3  Page： 2123-2125  Publication year： 1977 
JST Material Number： K19770176  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Austria (AUT)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： アルミニウム合金 ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=78A0260797&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=K19770176") }}

Terms in the title (5)： Al ,  薄膜 ,  エレクトロマイグレーション ,  酸素イオン ,  注入