Art

J-GLOBAL ID：201002106855320512   Reference number：10A1429826

Mechanical properties of sintered Si3N4 from powder produced by fluidized-bed direct silicon nitridation

流動床直接シリコン窒化法により制作された粉末からの焼結Si₃N₄の機械的性質

Author (5)： TASHIMA S ,  KIMURA S ,  SUZUKI YH ,  MADA Y ,  KUROKI H
Material： PROGRESS OF MACHINING TECHNOLOGY
Page： 167-171  Publication year： 2002 
JST Material Number： I20020877  ISBN： 7-80183-020-2  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (8)： 流動床 ,  シリコン ,  窒化法 ,  制作 ,  粉末 ,  焼結 ,  Si3N4 ,  機械的性質