Art

J-GLOBAL ID：201002139812959450   Reference number：10A1189133

Boundary extraction in the SEM cross section of LSI

LSIのSEM横断面における境界抽出

Author (4)： NAKAMAE K ,  MIDOH Y ,  MIURA K ,  FUJIOKA H
Material： INTELLIGENT ROBOTS AND COMPUTER VISION XX: ALGORITHMS, TECHNIQUES, AND ACTIVE VISION
Page： 451-458  Publication year： 2001 
JST Material Number： I20010471  ISSN： 0277-786X  ISBN： 0-8194-4300-X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： LSI ,  SEM ,  横断面 ,  境界