Art

J-GLOBAL ID：201002146218368139   Reference number：10A1446940

Three-dimensional micromachining of silicon nitride for power microelectromechanical systems

パワーMEMS(マイクロ電気機械システム)用の窒化ケイ素の3次元マイクロマシニング

Author (6)： SUGIMOTO S ,  TANAKA S ,  LI JF ,  GENDA T ,  WATANABE R ,  ESASHI M
Material： TRANSUCERS '01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2
Page： 1140-1143  Publication year： 2001 
JST Material Number： I20010998  ISBN： 3-540-42150-5  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： パワー ,  MEMS ,  電気機械 ,  窒化ケイ素 ,  3次元 ,  マイクロマシニング