Art

J-GLOBAL ID：201002152303896420   Reference number：10A1414473

Epitaxially ordered structure in the buried oxide layer of SIMOX wafers

SIMOXウエハーの埋め込み酸化膜のエピタキシャル秩序構造

Author (3)： SHIMURA T ,  HOSOI T ,  UMENO M
Material： PHYSICS AND CHEMISTRY OF SIO2 AND THE SI-SIO2 INTERFACE - 4
Page： 241-249  Publication year： 2000 
JST Material Number： I20000683  ISBN： 1-56677-267-2  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： SIMOX ,  ウエハー ,  埋め込み酸化膜 ,  エピタキシャル ,  秩序構造