Art

J-GLOBAL ID：201002157502581871   Reference number：10A1241868

Two-dimensional distribution of the residual stress in MBE-grown InGaAs/GaAs strained layer superlattices

InGaAs/GaAs歪層超格子のMBE成長における残留応力の二次元分布

Author (4)： IIZUKA K ,  WATANABE H ,  KOMATSU M ,  SUZUKI T
Material： THIN-FILMS - STRESSES AND MECHANICAL PROPERTIES VII
Page： 451-455  Publication year： 1998 
JST Material Number： I19980627  ISSN： 0272-9172  ISBN： 1-55899-410-6  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： InGaAs ,  GaAs ,  歪層超格子 ,  MBE成長 ,  残留応力 ,  分布