Art

J-GLOBAL ID：201002170447672621   Reference number：10A1238584

An interferometric system for measuring position and orientation of a positioning stage

位置決めステージの位置と方向を計測する干渉法システム

Author (4)： JIE Z ,  IWATA K ,  KIKUTA H ,  PARK CS
Material： SEVENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY APPLIED TO SCIENCE, INDUSTRY, AND EVERYDAY LIFE, PTS 1 AND 2
Page： 304-311  Publication year： 2002 
JST Material Number： I20020937  ISSN： 0277-786X  ISBN： 0-8194-4686-6  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： ステージ ,  計測 ,  干渉法