Art

J-GLOBAL ID：201002190000523905   Reference number：10A1192949

Micro pattern of TiO2 thin film formation by direct synthesis from aqueous solution and transcription of resist pattern

水溶液とレジストパターンの転写反応からの直接合成によるミクロTiO2薄膜形成のミクロパターン

Author (3)： YAO T ,  UCHIMOTO Y ,  YABE H
Material： MATERIALS SCIENCE OF NOVEL OXIDE-BASED ELECTRONICS
Page： 423-426  Publication year： 2000 
JST Material Number： I20000550  ISSN： 0272-9172  ISBN： 1-55899-531-5  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： 水溶液 ,  レジストパターン ,  転写反応 ,  直接合成 ,  TiO2 ,  薄膜形成 ,  ミクロパターン