Art

J-GLOBAL ID：201002196963711594   Reference number：10A1192876

Nanostructure fabrication using electron beam

電子ビームを用いたナノ構造の作製

Author (1)： MATSUI S
Material： MATERIALS ISSUES AND MODELING FOR DEVICE NANOFABRICATION
Page： 293-303  Publication year： 2000 
JST Material Number： I20000546  ISSN： 0272-9172  ISBN： 1-55899-492-0  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： 電子ビーム ,  ナノ構造 ,  作製