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J-GLOBAL ID：201002203580462236   Reference number：10A1265448

Molecular beam epitaxial growth of GaN using ammonia cluster ion beam as a nitrogen source

窒素源としてアンモニアクラスタイオンビームを使用するGaNの分子線エピタキシャル成長

Author (5)： SAITO H ,  TAGUCHI M ,  OHISHI M ,  YONETA M ,  IMAI K
Material： 5TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON BLUE LASER AND LIGHT EMITTING DIODES, PROCEEDINGS
Page： 2478-2482  Publication year： 2004 
JST Material Number： I20040141  ISBN： 3-527-40570-4  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： 窒素源 ,  アンモニア ,  クラスタイオンビーム ,  GaN ,  分子線エピタキシャル成長