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J-GLOBAL ID：201002204598505184   Reference number：10A0106297

光学的手法による表面形状の高解像度・広範囲測定システムの開発

Author (2)： KOZUKI TOMOTAKA (広島国際大 工) ,  UEDA MASAHIRO (福井大 教育地域科学)
Material： 日本設計工学会研究発表講演会講演論文集  (日本設計工学会大会研究発表講演会講演論文集)
Volume： 2009  Issue： 秋季  Page： 119-122  Publication year： 2009 
JST Material Number： S0899A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： high-resolution ,  range ,  *measurement system ,  measurement ,  frequency (Hz) ,  Technology ,  wafer ,  panel ,  hybrid system ,  *surface profile
Semi thesaurus term： nm測定サブシステム ,  μm測定サブシステム ,  flat panel ,  リアルタイム測定法 ,  凹凸測定 ,  光学的手法 ,  広範囲 ,  高レンジ測定法 ,  high-resolution ,  測定周波数

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (5)：

• キーエンス社. キーエンス社, 2004総合カタログ. 2004, 694
• KOZUKI, Tomotaka. The Review of Laser Engineering. 2004, 32, 10, 648
• 上月具挙. レーザー学会第332回研究会報告「レーザー計測その他」. 2005, RTM-05-05, 1
• レーザーテック社. レーザーテック社, 2003年カタログ. 2003
• 上田正紘. レーザー研究. 1993, 21, 12, 42

Terms in the title (6)： 光学 ,  手法 ,  表面形状 ,  高解像度 ,  測定システム ,  開発