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J-GLOBAL ID：201002206889419253   Reference number：10A1567649

Extremely low-energy projectiles for SIMS using size-selected gas cluster ions

サイズ選択性ガス・クラスタイオンを用いたSIMSのための極低エネルギー投射物

Author (6)： MORITANI K ,  HASHINOKUCHI M ,  NAKAGAWA J ,  KASHIWAGI T ,  TOYODA N ,  MOCHIJI K
Material： APPLIED SURFACE SCIENCE
Volume： 255  Issue： 4  Page： 948-950  Publication year： 2008 
JST Material Number： O0615A  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： サイズ選択性 ,  クラスタイオン ,  SIMS ,  極 ,  低エネルギー ,  投射