Art

J-GLOBAL ID：201002208159404105   Reference number：10A1414410

Dependence of selective anodization characteristics on silicon substrate orientation

シリコン基板配向における選択性陽極酸化特性の依存性

Author (5)： UEHARA S ,  KUBOTA K ,  NAGAOKA K ,  YOSHIDA S ,  MATSUBARA T
Material： PHYSICA STATUS SOLIDI C - CONFERENCES AND CRITICAL REVIEWS, VOL 2, NO 9
Volume： -  Page： 3389-3393  Publication year： 2005 
JST Material Number： O5352A  ISSN： 1610-1634  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： シリコン基板 ,  配向 ,  選択性 ,  陽極酸化 ,  依存性