Art

J-GLOBAL ID：201002221233286809   Reference number：10A1178975

High-quality transparent conducting oxide films deposited by a novel ion plating technique

新規イオンプレーティング技術で蒸着した高品位透明伝導酸化膜

Author (9)： SAKEMI T ,  SHIRAKATA S ,  IWATA K ,  MATSUBARA K ,  TAMPO H ,  FONS P ,  NIKI S ,  AWAI K ,  YAMAMOTO T
Material： COMPOUND SEMICONDUCTOR PHOTOVALTAICS
Page： 301-306  Publication year： 2003 
JST Material Number： I20030283  ISSN： 0272-9172  ISBN： 1-55899-700-8  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： イオンプレーティング ,  蒸着 ,  高品位 ,  伝導 ,  酸化膜