Art

J-GLOBAL ID：201002223548085006   Reference number：10A1296664

High performance 30 nm gate bulk CMOS for 45 nm node with Sigma-shaped SiGe-SD

Σ型SiGe-SDをもつ45nmノード用の高性能30nmゲートバルクCMOS

Author (19)： OHTA H ,  KIM Y ,  SHIMAMUNE Y ,  SAKUMA T ,  HATADA A ,  KATAKAMI A ,  SOEDA T ,  KAWAMURA K ,  KOKURA H ,  MORIOKA H ,  WATANABE T ,  OH J ,  HAYAMI Y ,  OGURA J ,  MORI T ,  TAMURA N ,  KOJIMA M ,  SUGII T ,  HASHIMOTO K
Material： IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2005, TECHNICAL DIGEST
Page： 247-250  Publication year： 2005 
JST Material Number： I20050536  ISBN： 0-7803-9268-X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： 型 ,  SiGe ,  ノード ,  高性能 ,  ゲート ,  バルク ,  CMOS