Art

J-GLOBAL ID：201002224103015705   Reference number：10A1567461

Spectroscopic ellipsometry on sinusoidal surface-relief gratings

洞様の表面救助格子の分光学的エリプソメトリー

Author (7)： ANTOS R ,  OHLIDAL I ,  FRANTA D ,  KLAPETEK P ,  MISTRIK J ,  YAMAGUCHI T ,  VISNOVSKY S
Material： APPLIED SURFACE SCIENCE
Volume： 244  Issue： 1-4  Page： 221-224  Publication year： 2005 
JST Material Number： O0615A  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 救助 ,  格子 ,  分光学 ,  エリプソメトリー