Art

J-GLOBAL ID：201002228488815664   Reference number：10A1424237

The development of an innovative process of large grained and low resistivity cu wires for less than hp 45nm ULSI

hp 45ナノメートル以下のULSIのための大粒低抵抗cu導線の革新的な処理の開発

Author (10)： TASHIRO S ,  KHOO K ,  NAGANO T ,  ONUKI R ,  CHONAN Y ,  AKAHOSHI H ,  TOBITA T ,  CHIBA M ,  ISHIKAWA K ,  ISHIKAWA N
Material： PROCEEDINGS OF THE IEEE 2007 INTERNATIONAL INTERCONNECT TECHNOLOGY CONFERENCE
Page： 46-48  Publication year： 2007 
JST Material Number： I20071054  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： HP ,  メートル ,  ULSI ,  低抵抗 ,  Cu ,  導線 ,  開発