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J-GLOBAL ID：201002234809746503   Reference number：10A0389937

Micromould based laser shock embossing of thin metal sheets for MEMS applications

MEMS応用のための薄い金属シートのマイクロモールドベースレーザ衝撃エンボス加工

Author (5)： LIU Huixia (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  SHEN Zongbao (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  WANG Xiao (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  WANG Hejun (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  TAO Maoke (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 256  Issue： 14  Page： 4687-4691  Publication year： May. 01, 2010 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *embossing (plastic working) ,  mold and pattern ,  *metal foil ,  space resolving power ,  deformation ,  simulation ,  micro structure ,  three dimension ,  MEMS ,  *micro channel ,  FEM model
Semi thesaurus term： *レーザ衝撃エンボス加工 ,  マイクロモールド ,  metal sheet ,  finite element model ,  ANSYS

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Terms in the title (5)： MEMS ,  応用 ,  金属シート ,  衝撃 ,  エンボス加工