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J-GLOBAL ID：201002236913250750   Reference number：10A0990190

塩化バナジウム(III)を添加剤としたスプレーCVD法による有機EL素子用バナジウム添加酸化インジウム透明陽極の作製と評価

Author (7)： ETO TAKANORI (仙台高専) ,  YAMAGA TAKUMI (仙台高専) ,  SEKI SHIGEYUKI (仙台高専) ,  SEKI YOSHIYUKI (東京工芸大 大学院) ,  SAWADA YUTAKA (東京工芸大 大学院) ,  UCHIDA TAKAYUKI (東京工芸大 大学院) ,  SHISHIDO TOETSU (東北大 金属材料研)
Material： 電気関係学会東北支部連合大会講演論文集  (Tohoku-Section Joint Convention Record on Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan)
Volume： 2010  Page： 288  Publication year： Aug. 26, 2010 
JST Material Number： L1767A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,  *electroluminescence ,  *anode ,  thin film ,  vanadium chloride ,  *indium oxide ,  vanadium additive alloy ,  lattice constant ,  electrical resistivity
Semi thesaurus term： CVD ,  organic EL ,  *positive electrode

JST classification (2)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Vapor plating  (WC08022K)

Terms in the title (10)： 塩化バナジウム ,  添加剤 ,  スプレー ,  CVD法 ,  有機EL素子 ,  バナジウム ,  酸化インジウム ,  陽極 ,  作製 ,  評価