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J-GLOBAL ID：201002237301232520   Reference number：10A1268207

Analysis of pore size distribution in low-k porous silica films incorporated with ethylene groups

エチレン基含有low-k多孔質シリカ膜中の細孔径分布解析

Author (6)： UCHIDA Y ,  OHDAIRAI T ,  SUZUKI R ,  MARUYAMA Y ,  KATOH T ,  ISHIDA K
Material： ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE 2004 (AMC 2004)
Page： 437-441  Publication year： 2004 
JST Material Number： I20040175  ISBN： 1-55899-814-4  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： エチレン ,  多孔質 ,  シリカ膜 ,  細孔径分布 ,  解析