Art

J-GLOBAL ID：201002237575654358   Reference number：10A1193250

Measurement of a high aspect ratio micro-structured surface by an AFM

AFMによる高アスペクト比ミクロ構造面の計測

Author (3)： AOKI J ,  GAO W ,  KIYONO S
Material： MEASURE AND QUALITY CONTROL IN PRODUCTION
Page： 561-567  Publication year： 2004 
JST Material Number： I20040664  ISSN： 0083-5560  ISBN： 3-18-091860-8  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： AFM ,  高アスペクト比 ,  ミクロ構造 ,  計測