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J-GLOBAL ID：201002244298861037   Reference number：10A0139155

Theoretical Analysis of Vacuum Evacuation in Viscous Flow and Its Applications

粘性流領域における真空排気の理論計算とその応用

Author (1)： SENDA YASUHIKO (住友電気工業)
Material： SEIテクニカルレビュー  (住友電気)
Issue： 176  Page： 1-7  Publication year： Jan. 2010 
JST Material Number： F0314A  ISSN： 1343-4330  CODEN： SUDEA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum pump ,  exhaust equipment ,  *exhaust ,  vacuum ,  viscous flow ,  velocity ,  conductance
Semi thesaurus term： pumping speed

JST classification (2)： Vacuum production and techniques  (BA02020L) ,  Rarefied gas dynamics  (BC04000J)

Reference (11)：

• JIS Z 8126、「真空用語」、p2(1990)
• 「真空ハンドブック増訂版」、pp39-41、日本真空技術 (株)(1982)
• 林義孝、「真空技術入門」、pp18-19、p13、p21、日刊工業新聞社 (1987)
• URL http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/People/ikuji/edu/vac/app-A/conduct.html
• URL http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/People/ikuji/edu/ebeam/lennard.html

Terms in the title (4)： 粘性流 ,  真空排気 ,  理論計算 ,  応用