Art

J-GLOBAL ID：201002248239142774   Reference number：10A1486133

Microfabrication of GaN groove on sapphire substrate treated selectively by electron-beam

電子ビームにより選択的に処理したサファイア基板上のGaN溝の微細加工

Author (6)： MATSUMURA H ,  SUMIYA M ,  KAWAI Y ,  TOMIKI M ,  MURAKAMI K ,  FUKE S
Material： PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 3, NO 6
Volume： 3  Issue： 6  Page： 1649-1652  Publication year： 2006 
JST Material Number： O5361A  ISSN： 1610-1634  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 電子ビーム ,  サファイア基板 ,  GaN ,  微細加工