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J-GLOBAL ID：201002249450726851   Reference number：10A0338663

A Fundamental Study of Wet Blast Processing (Solid Particle Size Effects on Processing Mechanism of Monocrytalline Silicon Wafer)

ウェットブラスト加工に関する基礎的研究(投射固体粒子径の単結晶Siウェハの加工メカニズムへの影響)

Author (4)： DONG Boyu (福井大 大学院工学研究科) ,  MIYAJIMA TOSHIRO (福井大 大学院工学研究科) ,  MATSUBARA TOORU (マコー) ,  IWAI YOSHIRO (福井大 大学院工学研究科)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 76  Issue： 763  Page： 741-748  Publication year： Mar. 25, 2010 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachining ,  *surface processing ,  wafer ,  ductile fracture ,  brittle fracture ,  plastic deformation ,  tribology ,  Si wafer
Semi thesaurus term： *ウェットブラスト加工 ,  Si wafer

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (17)：

• 1) DONG B. Y. A fundamental study of wet blast processing-Solid particle size effects on surface processing properties of monocrystalline silicon wafer-. Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series C. (2010) vol.076, no.762,
• 2) SLIKKERVEER P. J. Erosion and damage by sharp particles. Wear. (1998) vol.217, p.237-249.
• 3) DENG J. X. Wear of ceramic nozzle by dry sand blasting. Tribology International. (2006) vol.39, p.274-280.
• 4) HUTCHINGS I. M. Tribology, Friction and Wear of Engineering Materials. Edward Arnold. (1992) vol.137,
• 5) Ultra-Precision Machining Editorial Committee ed. Foundation and Practice of Ultra-Precision Machining. The Nikkan kogyo shimbun Ltd.. (2006) p.106-118.

Terms in the title (8)： ブラスト加工 ,  基礎的研究 ,  投射 ,  固体 ,  粒子径 ,  単結晶Si ,  ウェハ ,  メカニズム