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J-GLOBAL ID：201002252704845040   Reference number：10A0839585

Development of a System to Measure Micro Hole Form Accuracy Using an Optical Fiber Probe (2nd Report)-Evaluation of a Prototype of the Measuring System-

光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発(第2報)-試作した測定システムの評価実験-

Author (6)： MURAKAMI HIROSHI (鹿児島大) ,  KATSUKI AKIO (九大) ,  ONIKURA HIROMICHI (九大) ,  SAJIMA TAKAO (九大) ,  KAWAGOISHI NORIO (鹿児島大) ,  KONDO EIJI (鹿児島大)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 76  Issue： 8  Page： 950-954  Publication year： Aug. 05, 2010 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *measurement system ,  *pore ,  micro structure ,  *optical fiber sensor ,  pore diameter ,  *shape measurement ,  semiconductor laser ,  measurement accuracy ,  surface roughness ,  roundness ,  straightness ,  reproducibility ,  *performance evaluation ,  through hole ,  accuracy of form

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Reference (16)：

• 1) 丸山 六男 : 光学的方法による小穴内径測定装置の開発, 精密工学会誌, 62, 1 (1996) 145.
• 2) 秋山 伸幸, 北野 哲彦, 吉田 昌弘, 藤本 頴助, 幸平 博喜, 福島 忠雄 : 微小径深穴用光学式内径測定装置の開発, 精密工学会誌, 62, 4 (1996) 584.
• 3) T. Masuzawa, Y. Hamasaki, M. Fujino : Vibroscanning Method for Nondestructive Measurement of Small Holes, Annals of the CIRP, 42, 1 (1993) 567.
• 4) T. Masuzawa, B. J. Kim, C. Bergaud, M. Fujino : Twin-Probe Vibroscanning Method for Dimensional Measurement of Microholes, Annals of the CIRP, 46, 1 (1997) 437.
• 5) 山本 正樹,山口 恵作,青木 新一郎 : バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発, 精密工学会誌, 67, 2, (2001) 251.

Terms in the title (7)： 光ファイバプローブ ,  小径 ,  形状精度 ,  測定システム ,  開発 ,  試作 ,  評価実験