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J-GLOBAL ID：201002252704845040   Reference number：10A0839585

Development of a System to Measure Micro Hole Form Accuracy Using an Optical Fiber Probe (2nd Report)-Evaluation of a Prototype of the Measuring System-

光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発(第2報)-試作した測定システムの評価実験-

Author (6)： MURAKAMI HIROSHI (鹿児島大) ,  KATSUKI AKIO (九大) ,  ONIKURA HIROMICHI (九大) ,  SAJIMA TAKAO (九大) ,  KAWAGOISHI NORIO (鹿児島大) ,  KONDO EIJI (鹿児島大)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 76  Issue： 8  Page： 950-954  Publication year： Aug. 05, 2010 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *measurement system ,  *pore ,  micro structure ,  *optical fiber sensor ,  pore diameter ,  *shape measurement ,  semiconductor laser ,  measurement accuracy ,  surface roughness ,  roundness ,  straightness ,  reproducibility ,  *performance evaluation ,  through hole ,  accuracy of form

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Terms in the title (7)： 光ファイバプローブ ,  小径 ,  形状精度 ,  測定システム ,  開発 ,  試作 ,  評価実験