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J-GLOBAL ID：201002253046372903   Reference number：10A0727781

Implementation of a Monolithic Single Proof-Mass Tri-Axis Accelerometer Using CMOS-MEMS Technique

CMOS-MEMS方法を用いたモノリシック単一プルーフマス3軸加速度計の実現

Author (4)： SUN Chih-Ming (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  TSAI Ming-Han (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LIU Yu-Chia (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  FANG Weileun (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
Material： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Trans Electron Devices)
Volume： 57  Issue： 7  Page： 1670-1679  Publication year： Jul. 2010 
JST Material Number： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *CMOS structure ,  *MEMS ,  *semiconductor integrated circuit ,  *accelerometer ,  multiaxial ,  three axes ,  *MOS structure

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (4)： CMOS ,  MEMS ,  マス ,  3軸加速度計