Art

J-GLOBAL ID：201002258312210398   Reference number：10A1181215

Application of glow discharge Spectroscopy for impurity diffusion

不純物拡散に対するグロー放電分光法の適用

Author (6)： TAGUCHI O ,  IIJIMA Y ,  SUZUKI S ,  NAKAMURA T ,  HIRANO Y ,  KONO H
Material： DIFFUSION IN MATERIALS: DIMAT 2004, PT 1AND 2
Page： 474-478  Publication year： 2005 
JST Material Number： I20050353  ISSN： 1012-0386  ISBN： 3-908451-07-8  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： 不純物拡散 ,  グロー放電 ,  分光法