Art

J-GLOBAL ID：201002262290934386   Reference number：10A0283337

Diamond turning and soft lithography processes for liquid tunable lenses

可変同調液体レンズ向けダイヤモンドチューニング及びソフトリソグラフィプロセス

Author (5)： LEUNG H M (National Univ. Singapore, Singapore) ,  ZHOU G (National Univ. Singapore, Singapore) ,  YU H (National Univ. Singapore, Singapore) ,  CHAU F S (National Univ. Singapore, Singapore) ,  KUMAR A S (National Univ. Singapore, Singapore)
Material： Journal of Micromechanics and Microengineering  (J Micromech Microeng)
Volume： 20  Issue： 2  Page： 025021,1-11  Publication year： Feb. 2010 
JST Material Number： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： lens(optics) ,  *lithography ,  *stereoscopic image ,  hybrid system ,  focal point
Semi thesaurus term： *tuning ,  *liquid lens ,  variable tuning ,  spherical lens ,  three dimensional image ,  *production method

JST classification (3)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K) ,  X-ray instruments and techniques  (BA02060D) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (4)： 可変同調 ,  液体レンズ ,  ソフト ,  リソグラフィプロセス