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J-GLOBAL ID：201002271022566225   Reference number：10A1070863

THE ROLE OF DOPANTS IN SnO₂-BASED SEMICONDUCTOR GAS SENSING MATERIALS (1)-EFFECTS OF DOPANTS ON SENSING PERFORMANCES AND RELIABILITY OF SENSORS

半導体式ガスセンサに用いられるSnO₂系センシング材料中のドーパントの役割(1)-性能と信頼性に及ぼす影響と大型先端機器による解析の試み

Author (5)： MAEKAWA TOORU (新コスモス電機) ,  MINAGOSHI CHISE (新コスモス電機) ,  KANDA KEISEN (新コスモス電機) ,  NOMURA KATSUHIRO (産業技術総合研) ,  KAGEYAMA HIROYUKI (産業技術総合研)
Material： Chemical Sensors  (化学センサ)
Volume： 26  Issue： Supplement B  Page： 106-108  Publication year： Sep. 02, 2010 
JST Material Number： L3948A  CODEN： KAGSEU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor ,  *gas sensor ,  *tin oxide ,  *detection ,  *dopant ,  *performance ,  *reliability (property) ,  analysis ,  additive ,  large type ,  Cerium ,  Antimony ,  ratio ,  sensitivity (ratio) ,  combustible gas ,  crystal growth ,  Hydrogen ,  crystal structure ,  compound semiconductor ,  oxide semiconductor
Semi thesaurus term： sensing ,  additive

JST classification (3)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Measurement,monitoring and instrumentation of chemical process  (XC02030Y) ,  Crystal growth of oxides  (BK13050I)

Reference (10)：

• T. Maekawa, C. Minagoshi and S. Nakamura, Chemical Sensors 23-A, 97(2007).
• T. Maekawa, C. Minagoshi, S. Nakamura, K. Nomura and H. Kageyama, Chemical Sensors, 24-A, 19(2008).
• 皆越知世, 前川 亨, 鈴木健吾, 野村勝裕, 蔭山博之, マテリアルsインテグレーション, 第21巻 第05, 06号, 37(2008).
• 平成18年度ナノテク総合支援プロジェクト (文部科学省), 新コスモス電機, 平成18年度
• 平成20年重点産業利用課題 (S Pring-8), 2008B1921, 新コスモス電機

Terms in the title (8)： ガスセンサ ,  SnO2 ,  センシング ,  ドーパント ,  役割 ,  大型 ,  解析 ,  試み