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J-GLOBAL ID：201002280146767996   Reference number：10A0224832

A FEM Simulation of Effects of Inhomogeneous Regions on the van der Pauw Measurements of Semiconductors

半導体のvan der Pauw測定における不均質領域の影響の有限要素法によるシミュレーション

Author (2)： MATSUMURA TOORU (秋田大 大学院工学資源学研究科) ,  SATO YUICHI (秋田大 大学院工学資源学研究科)
Material： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
Volume： 47  Issue： 1  Page： 36-41  Publication year： Feb. 20, 2010 
JST Material Number： G0788A  ISSN： 1347-4774  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *finite element method ,  Computer Simulation ,  semiconductor ,  *measurement ,  *heterogeneity ,  *compound semiconductor ,  electrical resistivity ,  Hall effect ,  electric circuit ,  *modeling ,  electric potential distribution ,  turbulence ,  van der Pauw method ,  computer application ,  utilization

JST classification (1)： Electrical properties in general  (BM03010R)

Reference (8)：

• SHIODA, T. Appl. Phys. Express. 2008, 1, 071102
• KRTSCHIL, A. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 262105
• PAPP, G. J. Appl. Phys. 2007, 101, 113717
• HOLZ, M. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 072513
• MOUSSA, J. J. Appl. Phys. 2003, 94, 1110

Terms in the title (4)： VAN ,  不均質 ,  有限要素法 ,  シミュレーション