Art

J-GLOBAL ID：201002290669164522   Reference number：10A1222934

Study on constant control of illuminance in excimer irradiation equipment

エキシマ照射装置の照度一定制御に関する研究

Author (7)： YOKOZEKI I ,  TAUCHI A ,  UEMURA K ,  YOSHIKAWA K ,  TAKAHASHI N ,  KATO Y ,  OHKITA M
Material： 2004 1ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON POWER ELECTRONICS SYSTEMS AND APPLICATIONS PROCEEDINGS
Page： 207-209  Publication year： 2004 
JST Material Number： I20040042  ISBN： 962-367-434-1  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： エキシマ ,  照射装置 ,  照度 ,  研究