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J-GLOBAL ID：201003008192623313

サブミクロン試料に応力をかけて、サブミクロン試料における応力を求めること

Inventor： パルドアン,トーマス ,  ラスキン,ジャン-ピエール ,  カルボネル,ピエール ,  グラビエ,セバスチャン
Applicant, Patent owner： ユニべルシテ・カトリック・ドゥ・ルベン
Agent (7)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫 ,  佐々木 眞人
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009549833
Publication number (International publication number)：2010518410
Application date： Feb. 14, 2008
Publication date： May. 27, 2010
Summary：

この発明は、マイクロまたはナノマシンの組を用いて、金属材料、ポリマー材料、セラミック材料、炭素ベースの材料、およびシリコンベースの材料などの材料からなるマイクロスケールおよびナノスケールの梁、膜または多層に機械的応力および/または歪みを付与して、機械的応力および/または歪みを求めるための方法ならびに装置を提供する。本発明はまた、このようなナノまたはマイクロ構造のさまざまな特性または状態、とりわけ機械的特性を導き出して修正するための方法、およびナノまたはマイクロ構造が被る外部刺激を測定するための方法を提供する。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの試料ナノまたはマイクロ構造(4)に応力および/または歪みを付与して、少なくとも1つの試料ナノまたはマイクロ構造(4)に付与された応力および/または歪みを求めるためのシステムであって、 基板(1)と、1つ以上の試料ナノまたはマイクロ構造(4)に直接的または間接的に取付け可能であって、1つ以上の試験ナノまたはマイクロ構造を形成する1つ以上の基準ナノまたはマイクロ構造(3)とを備える装置を備え、 前記1つ以上の基準ナノまたはマイクロ構造(3)は、前記1つ以上の基準ナノまたはマイクロ構造(3)の一部が支えなしで立つことができるように前記基板(1)に直接的または間接的に取付けられ、前記システムはさらに、 前記基準ナノまたはマイクロ構造における応力および/または歪みが基本的に均一に圧縮力があるかまたは伸張性があるように、前記1つ以上の試験ナノまたはマイクロ構造に、または前記基板に、外部機械的荷重を直接的または間接的にかけるための手段(7,8)を備える、システム。

IPC (2)：

G01N 3/08 ,  G01N 3/24

FI (2)：

G01N3/08 ,  G01N3/24

F-Term (11)：

2G061AA01 ,  2G061AA02 ,  2G061AA11 ,  2G061AB05 ,  2G061BA01 ,  2G061BA03 ,  2G061BA06 ,  2G061CA16 ,  2G061CB20 ,  2G061EA03 ,  2G061EA04