Pat

J-GLOBAL ID：201003009254333232

低コンタクト抵抗を示すMOS構造およびその形成方法

Inventor： スリラム バラスブラマニアン
Applicant, Patent owner： グローバルファウンドリーズ・インコーポレイテッド
Agent (4)： 早川 裕司 ,  佐野 良太 ,  太田 昌孝 ,  村雨 圭介
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2010521843
Publication number (International publication number)：2010537425
Application date： Jul. 18, 2008
Publication date： Dec. 02, 2010
Summary：

低コンタクト抵抗を示すMOS構造(100,200)と、このようなMOS構造の形成方法が提供される。一方法では、半導体基板(106)が提供され、前記半導体基板上にゲートスタック(146)が形成される。前記半導体基板内に、前記ゲートスタックと整合された不純物ドープ領域(116)が形成される。前記不純物ドープ領域から延びる隣接するコンタクトフィン(186)が形成され、前記コンタクトフィン上に金属シリサイド層(126)が形成される。前記コンタクトフィンの少なくとも1つに存在する前記金属シリサイド層の少なくとも一部に対するコンタクト(122)が形成される。

Claim (excerpt)：

MOS構造(100)の形成方法であって、 半導体基板(106)を提供するステップと、 前記半導体基板上にゲートスタック(146)を形成するステップと、 前記半導体基板内に、前記ゲートスタックと整合された不純物ドープ領域(116)を形成するステップと、 前記不純物ドープ領域から延びる隣接するコンタクトフィン(186)を形成するステップと、 前記コンタクトフィン上に金属シリサイド層(126)を形成するステップと、 前記コンタクトフィンの少なくとも1つに存在する前記金属シリサイド層の少なくとも一部に対するコンタクト(122)を形成するステップと、を含む方法。

IPC (8)：

H01L 29/78 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 29/41 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/28

FI (9)：

H01L29/78 301S ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 616L ,  H01L29/78 616K ,  H01L21/90 D ,  H01L29/44 S ,  H01L29/50 M ,  H01L21/28 A ,  H01L21/28 301S

F-Term (152)：

4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA05 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD45 ,  4M104DD47 ,  4M104DD64 ,  4M104DD66 ,  4M104DD67 ,  4M104DD71 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104FF06 ,  4M104FF14 ,  4M104FF23 ,  4M104FF26 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  4M104HH15 ,  5F033GG01 ,  5F033GG02 ,  5F033GG03 ,  5F033HH04 ,  5F033JJ06 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ25 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK06 ,  5F033KK25 ,  5F033NN03 ,  5F033NN07 ,  5F033NN12 ,  5F033NN19 ,  5F033NN29 ,  5F033PP03 ,  5F033PP04 ,  5F033PP06 ,  5F033PP08 ,  5F033PP09 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ82 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033SS27 ,  5F033TT08 ,  5F033VV15 ,  5F033XX03 ,  5F033XX09 ,  5F110AA07 ,  5F110CC02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE09 ,  5F110EE33 ,  5F110FF02 ,  5F110FF23 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG32 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ21 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK05 ,  5F110HK32 ,  5F110HK40 ,  5F110HM02 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN40 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ19 ,  5F140AA10 ,  5F140AA39 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BA02 ,  5F140BA03 ,  5F140BA05 ,  5F140BA07 ,  5F140BD07 ,  5F140BE07 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BG09 ,  5F140BG10 ,  5F140BG11 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG32 ,  5F140BG38 ,  5F140BG39 ,  5F140BG49 ,  5F140BG51 ,  5F140BG53 ,  5F140BH05 ,  5F140BH06 ,  5F140BH07 ,  5F140BH14 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK09 ,  5F140BK13 ,  5F140BK18 ,  5F140BK21 ,  5F140BK26 ,  5F140BK29 ,  5F140BK34 ,  5F140BK39 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20