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J-GLOBAL ID:201003010816162914
ヘテロ結晶半導体デバイス及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2009551736
Publication number (International publication number):2010520618
Application date: Feb. 28, 2008
Publication date: Jun. 10, 2010
Summary:
非単結晶半導体層110、140と、この非単結晶半導体層110、140の晶子112と一体の単結晶半導体ナノ構造物122、124を含むナノ構造層120とを有するヘテロ結晶半導体デバイス100、及びこのヘテロ結晶半導体デバイス100を製造する方法200。
Claim (excerpt):
第1のエネルギーバンドギャップを有する第1の非単結晶半導体材料の第1の層(110)、
第2のエネルギーバンドギャップを有する第2の非単結晶半導体材料の第2の層(140)、
第3のエネルギーバンドギャップを有する単結晶半導体材料のナノ構造物(122、124)を有するナノ構造層(120)であって、当該前記ナノ構造物(122、124)が、前記第1の層(110)及び前記第2の層(140)のいずれかの層内の晶子(112)と一体になっており、前記第1の層(110)と前記第2の層(140)との間に配置されているナノ構造層(120)、並びに
前記第1の層(110)及び前記第2の層(140)への別々の電気接点(160a、160b)を備えており、
前記ナノ構造物(122、124)が、前記別々の電気接点(160a、160b)により電気的にアクセス可能となっている、ヘテロ結晶半導体デバイス(100)。
IPC (3):
H01L 29/06
, H01L 29/861
, B82B 1/00
FI (3):
H01L29/06 601N
, H01L29/91 H
, B82B1/00
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