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J-GLOBAL ID：201003015461180497

薄膜共振子

Inventor： 柳谷 隆彦 ,  守里 直希 ,  松川 真美 ,  渡辺 好章
Applicant, Patent owner： 学校法人同志社 ,  国立大学法人 名古屋工業大学
Agent (2)： 小林 良平 ,  谷口 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009019956
Publication number (International publication number)：2010178543
Application date： Jan. 30, 2009
Publication date： Aug. 12, 2010
Summary：

【課題】所定の周波数において、縦波の励振を抑制しつつ横波を励振する薄膜共振子を提供する。【解決手段】薄膜共振子10は、第1電極121と第2電極122の間にn層(nは3以上の自然数)の圧電体層(第1圧電体層111、第2圧電体層112、第3圧電体層...)が設けられたものである。各圧電体層における分極ベクトルPは前記薄膜共振子に平行な面αの法線13に対して傾斜するように配向している。各圧電体層における分極ベクトルPの法線13への射影は同方向であり、第1電極121側から数えて奇数番目の圧電体層における分極ベクトルPの面αへの射影は第1電極121側から数えて偶数番目の圧電体層における分極ベクトルPの面αへの射影と逆方向である。このような構成により、最大強度の横波の励振は、最大強度の縦波の励振とは異なる周波数で生じるため、横波の励振時に縦波の励振を抑制することができる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

第1電極と第2電極の間にn層(nは3以上の自然数)の圧電体層が設けられた薄膜共振子であって、 各圧電体層における分極ベクトルが前記薄膜共振子に平行な面の法線に対して傾斜するように配向しており、 各圧電体層における分極ベクトルの前記法線への射影が同方向であり、 第1電極側から数えて奇数番目の圧電体層における分極ベクトルの前記面への射影が、第1電極側から数えて偶数番目の圧電体層における分極ベクトルの前記面への射影と逆方向である、 ことを特徴とする薄膜共振子。

IPC (6)：

H02N 2/00 ,  H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6)：

H02N2/00 A ,  H03H9/17 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

F-Term (10)：

5J108AA01 ,  5J108AA08 ,  5J108AA09 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108CC13 ,  5J108EE03 ,  5J108EE13 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07