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J-GLOBAL ID：201003016644767671
研磨具および研磨装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008317679
Publication number (International publication number)：2010120153
Application date： Nov. 18, 2008
Publication date： Jun. 03, 2010
Summary：
【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。【解決手段】 砥石保持部材28の外径と内径とのほぼ中間にリング状の支柱33が設けられる。そして超音波振動子27aを砥石保持部材28の下面あるいは超音波振動子27bをリング状の支柱33の外周部と超音波振動子27cをリング状の支柱33の内周部の砥石保持部材28の下面側に接合する。さらに砥石保持部材28の上面を回転軸13aのフランジ19に固定保持する。【選択図】図7
Claim (excerpt)：
本発明は、電源に電気的に接続する環状超音波振動子を固定した砥石保持部材と該砥石保持部材の周縁部の下端に備えられた環状の砥石とを備えた研磨具であって、砥石保持部材が砥石保持部材の外径より小さく、内径より大きいリング状の支柱を備えるものとすることである。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
Patent cited by the Patent：
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