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J-GLOBAL ID：201003023018155857

二次イオン質量分析の固形試料保持方法

Inventor：
和田 一彦

About 和田 一彦


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008221604
Publication number (International publication number)：2010054433
Application date： Aug. 29, 2008
Publication date： Mar. 11, 2010
Summary：
【課題】固形試料を容易に固形試料保持体に固定することができる二次イオン質量分析の固形試料保持方法を提供する。【解決手段】本発明は、脆い固形試料を二次イオン質量分析装置で再現性よく正確に測定するために、固形試料を容易に固形試料保持体に固定することができる二次イオン質量分析の固形試料保持方法を提供するものである。本発明の二次イオン質量分析の固形試料保持方法は、上面に交互に並んだ凸部及び凹部を複数有しかつ可塑性を有する金属塊の複数の前記凸部の上に配置した固形試料に、前記固形試料の上に配置した板を介して上から力を加えることにより、前記金属塊を塑性変形させ、前記固形試料の上面と前記金属塊の上面とを同じ高さにし、かつ前記固形試料を前記金属塊に固定する工程を備え、前記固形試料の底面と接触した前記金属塊及びその下部の前記金属塊が前記凹部に向かって塑性変形することを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
上面に交互に並んだ凸部及び凹部を複数有しかつ可塑性を有する金属塊の複数の前記凸部の上に配置した固形試料に、前記固形試料の上に配置した板を介して上から力を加えることにより、前記金属塊を塑性変形させ、前記固形試料の上面と前記金属塊の上面とを同じ高さにし、かつ前記固形試料を前記金属塊に固定する工程を備え、 前記固形試料の底面と接触した前記金属塊及びその下部の前記金属塊が前記凹部に向かって塑性変形することを特徴とする二次イオン質量分析の固形試料保持方法。
IPC (3)：
G01N 1/06 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/62
FI (3)：
G01N1/06 E ,  G01N1/28 N ,  G01N27/62 V
F-Term (14)：
2G041CA01 ,  2G041DA16 ,  2G041EA01 ,  2G041FA02 ,  2G041FA09 ,  2G052AA11 ,  2G052AA15 ,  2G052AA18 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC05 ,  2G052EC22 ,  2G052GA24
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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