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J-GLOBAL ID：201003032848266189
放電イオン化電流検出器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 良平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008224482
Publication number (International publication number)：2010060354
Application date： Sep. 02, 2008
Publication date： Mar. 18, 2010
Summary：
【課題】プラズマ生成用ガス(He)に含まれる又は配管内壁から放出される不純物に起因するノイズを低減することでSN比を改善する。【解決手段】Heからプラズマを生成するための誘電体バリア放電を発生させる電極6〜8で囲まれるプラズマ生成領域と、プラズマの作用によりイオン化された試料成分を検出する電極13、14で囲まれるイオン化電流検出領域との間で、ガス流路4に供給されたHeの一部を分岐して排出する分岐排気路10を設ける。Heに混入していた又はプラズマ生成領域付近の円筒間3内面から放出された不純物の一部もHeとともに管外に排出されるため、イオン化電流検出領域に達する不純物の量を減らしてノイズを低減できる。試料成分のイオン化はプラズマからの励起光の寄与が支配的であるため、HeとともにHe励起種の一部が排出されてしまっても試料成分のイオン化効率は下がらない。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
放電により生起させたプラズマを利用して試料ガス中の試料成分をイオン化し検出する放電イオン化電流検出器であって、
a)プラズマ生成用ガスが流通するガス流路中に、周波数範囲が1[kHz]〜100[kHz]である交流電場による誘電体バリア放電を発生させ、該放電によりプラズマ生成用ガスからプラズマを生成するプラズマ生成手段と、
b)前記プラズマ生成手段によるプラズマ生成領域よりも下流側の前記ガス流路中に試料ガスを導入する試料ガス導入流路と、
c)前記プラズマ生成手段によるプラズマ生成領域よりも下流側の前記ガス流路中にあって、前記プラズマの作用によってイオン化された前記試料ガス中の試料成分によるイオン電流を検出する電流検出手段と、
d)前記プラズマ生成手段によるプラズマ生成領域と前記電流検出手段によるイオン電流検出領域との間で、前記ガス流路に流通するプラズマ生成用ガスの一部を分岐して排出する分岐排気流路と、
を備えることを特徴とする放電イオン化電流検出器。
IPC (3)：
G01N 27/68
, G01N 30/64
, G01N 27/70
G01N27/68 B
, G01N30/64 F
, G01N27/70
2G041CA04
, 2G041DA07
, 2G041EA06
, 2G041GA22
, 2G041GA23
, 2G041HA06
