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J-GLOBAL ID：201003033877570640

静電型デバイス

Inventor： 田村 昌弥 ,  大川 忠行
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009137278
Publication number (International publication number)：2010281789
Application date： Jun. 08, 2009
Publication date： Dec. 16, 2010
Summary：

【課題】 陽極接合時に可動部とガラス基板とが接合するのを防止する。【解決手段】 第1,第2のガラス基板2,3の間に、厚さ方向に変位可能な可動部6を備えたシリコン基板4を挟む。第2のガラス基板3のキャビティ3A内には、可動部6と対向した固定電極9を設けると共に、可動部6と電気的に接続されて固定電極9を取囲む同電位電極10を設ける。また、キャビティ3Aの底面には、層間絶縁膜11を挟んで固定電極9および同電位電極10と対向した下地電極12を設ける。下地電極12は、固定電極9に接続された第1の電極部12Aと、同電位電極10と接続された第2の電極部12Bとを備える。そして、第2の電極部12Bは固定電極9および同電位電極10の間の隙間Gを覆い、隙間Gと対向した部分はシールド部13を形成する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

ガラス基板と、該ガラス基板に設けられ厚さ方向に変位可能な可動部を有するシリコン基板と、前記ガラス基板に設けられ前記可動部と対向した位置に配置された固定電極と、該固定電極と絶縁されて前記ガラス基板に設けられ前記可動部と同電位となる同電位電極とを備えた静電型デバイスにおいて、 前記固定電極と同電位電極との間には水平方向の隙間を形成し、 前記固定電極および同電位電極のうち厚さ方向に対して前記可動部と反対側となる位置には、層間絶縁膜を挟んで前記固定電極および同電位電極と対向した下地電極を設け、 該下地電極は、前記固定電極と同電位電極との間の隙間を覆い、前記固定電極および同電位電極のうちいずれか一方に電気的に接続されたシールド部を備える構成としたことを特徴とする静電型デバイス。

IPC (4)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/125 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (4)：

G01P15/08 P ,  G01P15/125 Z ,  G01C19/56 ,  G01P9/04

F-Term (7)：

2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13