時間領域データ内のパルスの通過時間位置を測定するシステムおよび方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (8)：特許業務法人浅村特許事務所 , 浅村皓 , 浅村肇 , 林鉐三 , 清水邦明 , 大日方和幸 , 畑中孝之 , 岩見晶啓
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2010516294
Publication number (International publication number)：2010533300
Application date： Jul. 14, 2008
Publication date： Oct. 21, 2010
Summary：

時間領域データ内のパルスの通過時間位置を高精度で測定するためのシステムおよび方法である。例示のデータ集合は時間領域テラヘルツ(TD-THz)データ内のパルスの通過時間である。パルスタイミングの精度は決定するサンプル特性測定値(例えば、厚さ)の精度に直接影響する。また、内部較正エタロン構造およびアルゴリズム法は連続的なシステム正確さ/精度チェック法であって、サンプル測定の完全性を高める。エタロン構造はサンプル特性測定値(例えば、絶対厚さ)の精度を高めることができる。種々のハードウエアおよびシステムの具体化を説明する。

Claim (excerpt)：

時間領域テラヘルツ波形の時間データ内のピーク時間値を決定する方法であって、前記時間領域テラヘルツ波形を受けるステップと、前記波形のエッジの中点を決定するステップと、前記中点付近の点の波形の直線当てはめを行うステップと、時間データ内の前記ピーク時間値である切片値を決定するステップと、を含むピーク時間値を決定する方法。

IPC (1)：

G01N 21/35

FI (1)：

G01N21/35 Z

F-Term (20)：

2G059AA01 , 2G059AA03 , 2G059BB10 , 2G059CC09 , 2G059DD20 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF04 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ13 , 2G059MM01 , 2G059MM02 , 2G059MM04 , 2G059MM10 , 2G059MM14 , 2G059PP04 , 2G059PP06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-057176 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

“T-ray imaging”
“Thin film characterization using terahertz differential time-domain spectroscopy and double modula
“T-ray tomography”

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