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J-GLOBAL ID：201003040276388590

光学素子および固体撮像素子

Inventor：
横川 創造

About 横川 創造


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (2)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009004457
Publication number (International publication number)：2010165718
Application date： Jan. 13, 2009
Publication date： Jul. 29, 2010
Summary：
【課題】特定の電磁波波長のみを選択的に取り出す技術を、化学的に安定、低コスト、低背化構造で実現することができるようにする。【解決手段】固体撮像素子31の画素部分においては、底面にフォトセンサ24が配置され、その上部に4層の平滑化層22と3層の金属配線23とが、記載の順に交互に積層されている。最も上面の平滑化層22の上部には、金属光学フィルタ41L、41S、およびオンチップ集光素子21が記載の順に下から積層されている。金属光学フィルタ41Sと金属光学フィルタ41Lとを積層することにより、バンドパスフィルタが容易に実現化される。本発明は、固体撮像素子に適用することができる。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
入射した光のうち第1カットオフ周波数よりも低周波数の成分を透過させる機能を有する第1のフィルタと、 入射した前記光のうち第2カットオフ周波数よりも高周波数の成分を透過させる機能を有する第2のフィルタと、 入射した前記光のうち、前記第1のフィルタと前記第2のフィルタとをそれぞれ透過した成分に対して、光電変換を行う受光素子と を備え、前記第1のフィルタと前記第2のフィルタとのうち少なくとも一方には、導体薄膜により形成される金属光学フィルタが採用されている 光学素子。
IPC (3)：
H01L 27/14 ,  G02B 5/20 ,  H01L 31/02
FI (3)：
H01L27/14 D ,  G02B5/20 ,  H01L31/02 A
F-Term (25)：
2H048AA01 ,  2H048AA07 ,  2H048AA15 ,  2H048AA16 ,  2H048AA18 ,  2H048AA21 ,  2H048AA24 ,  2H048AA25 ,  4M118AB01 ,  4M118CA32 ,  4M118GC01 ,  4M118GC07 ,  4M118GC11 ,  4M118GC17 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5F088BA11 ,  5F088BB03 ,  5F088CB06 ,  5F088CB07 ,  5F088DA20 ,  5F088HA06 ,  5F088HA07 ,  5F088LA03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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