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J-GLOBAL ID:201003048342137279
送風制御パターン作成装置、送風制御装置、送風制御パターン作成方法、送風制御パターン作成プログラム、送風制御方法、および風量制御システム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
永田 良昭
, 永田 元昭
, 西原 広徳
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009104875
Publication number (International publication number):2010255898
Application date: Apr. 23, 2009
Publication date: Nov. 11, 2010
Summary:
【課題】クリーンルームC1,C2の設備2A,2Bに使用する消費電力を低コストかつ容易に削減する。【解決手段】クリーンルームC1,C2の清浄度を取得する清浄度取得部71と、クリーンルームC1,C2の風量を取得する風量取得部72と、取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要送風量算出部76と、該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン生成部77とを備えた送風制御パターン作成装置3を提供する。【選択図】図4
Claim (excerpt):
クリーンルームの清浄度を取得する清浄度取得手段と、
クリーンルームの風量を取得する風量取得手段と、
取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要風量算出手段と、
該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン作成手段とを備えた
送風制御パターン作成装置。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (11):
3L058BD01
, 3L058BD02
, 3L058BD03
, 3L058BE07
, 3L058BF01
, 3L058BF06
, 3L058BG01
, 3L058BG04
, 3L061BE02
, 3L061BF07
, 3L061BF08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平3-263535
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特開昭61-286500
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特開昭60-164141
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