Pat
J-GLOBAL ID:201003049948590943
光波干渉計測装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
藤元 亮輔
, 水本 敦也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009287779
Publication number (International publication number):2010230653
Application date: Dec. 18, 2009
Publication date: Oct. 14, 2010
Summary:
【課題】安価で高精度な光波干渉計測装置を提供する。【解決手段】光波干渉計測装置は、複数のスペクトルを有する光束を射出する第1多波長光源200aと、第1多波長光源からの光束とは異なる波長を有する光束を射出する第2多波長光源200bと、第1多波長光源200a及び第2多波長光源200bからの光束を分離する偏光ビームスプリッタ6と、第2多波長光源200bからの光束を反射する参照面7と、第1多波長光源200aからの光束を反射する被検面8と、第1多波長光源200a及び第2多波長光源200bからの光束の干渉信号を分光する分波器9a、9bと、第1多波長光源200a及び第2多波長光源200bからの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する検出装置10a、10bと、検出装置10a、10bからの信号を処理して参照面7と被検面8との間の光路長差を算出する解析装置11とを有する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数のスペクトルを有する光束を射出する第1多波長光源と、
前記第1多波長光源からの光束と異なる波長及び直交する偏光成分を有する光束を射出する第2多波長光源と、
前記第1多波長光源からの光束と前記第2多波長光源からの光束とを分離する偏光光学素子と、
基準位置に設けられ、前記第2多波長光源からの光束を反射する参照面と、
被検物体に設けられ、前記第1多波長光源からの光束を反射する被検面と、
前記第1多波長光源からの光束と前記第2多波長光源からの光束の干渉信号を分光する分光光学素子と、
前記分光光学素子で分光された干渉信号から、前記第1多波長光源からの光束と前記第2多波長光源からの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する複数の検出器と、
前記検出器からの信号を処理して前記参照面と前記被検面との間の光路長差を算出する解析装置と、
を有することを特徴とする光波干渉計測装置。
IPC (3):
G01B 9/02
, G01B 11/00
, G01J 9/02
FI (3):
G01B9/02
, G01B11/00 G
, G01J9/02
F-Term (39):
2F064AA01
, 2F064CC08
, 2F064EE01
, 2F064FF02
, 2F064FF05
, 2F064FF08
, 2F064GG04
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG41
, 2F064GG42
, 2F064GG49
, 2F064GG53
, 2F064GG55
, 2F064GG68
, 2F064GG70
, 2F064HH06
, 2F064JJ01
, 2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065FF52
, 2F065GG06
, 2F065GG22
, 2F065GG23
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065LL02
, 2F065LL12
, 2F065LL17
, 2F065LL21
, 2F065LL22
, 2F065LL37
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065LL53
, 2F065LL57
, 2F065LL67
, 2F065UU07
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