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J-GLOBAL ID：201003052012977006

面圧センサ

Inventor： 片桐 誠 ,  頼永 宗男 ,  大曽根 一弘 ,  矢崎 芳太郎 ,  竹内 聡 ,  近藤 宏司
Applicant, Patent owner： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社デンソー
Agent (5)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  大橋 康史 ,  篠崎 正海
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009052364
Publication number (International publication number)：2010204034
Application date： Mar. 05, 2009
Publication date： Sep. 16, 2010
Summary：

【課題】高温時における低荷重領域で高感度に計測する面圧センサを提供する。【解決手段】基板(1)の表面(6)に対して、垂直となる基板(1)の側面(5、5’)に薄膜抵抗体(3)を形成し、基板(1)の表面(6)に垂直方向の荷重に対して、前記薄膜抵抗体(3)の歪を計測する面圧センサ。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板(1)の表面(6)に対して垂直となる、基板(1)の側面(5、5’)に、薄膜抵抗体(3)を形成し、基板(1)の表面(6)にかかる荷重に対する、前記側面(5、5’)における歪を計測する面圧センサ。

IPC (1)：

G01L 1/20

FI (1)：

G01L1/20 A