Pat

J-GLOBAL ID：201003053386159281

検出素子、微小電気機械装置および電子機器

Inventor： 松久 和弘
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009009521
Publication number (International publication number)：2010169401
Application date： Jan. 20, 2009
Publication date： Aug. 05, 2010
Summary：

【課題】一構造あたり多軸方向の物理量検出に対応する場合であっても、ある検出軸の別の軸の変位がノイズとして混在するのを抑制して、検出結果のSN比改善を図れるようにする。【解決手段】第一の軸方向に沿って延びるように配された可堯性を有する第一の梁部31と、前記第一の軸方向と直交する第二の軸方向に沿って延びるように配された可堯性を有する第二の梁部32と、前記第一の梁部31および前記第二の梁部32によって少なくとも二以上の方向に変位可能に支持される錘部33と、前記錘部33の変位に基づいて当該錘部33に作用する力学量を検出する検出部21とを備える検出素子において、前記錘部33は、前記第一の軸方向回りにおける回転し易さと前記第二の軸方向回りにおける回転し易さとに差が生じる態様で、前記第一の梁部31および前記第二の梁部32に支持されるようにする。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

第一の軸方向に沿って延びるように配された可堯性を有する第一の梁部と、 前記第一の軸方向と直交する第二の軸方向に沿って延びるように配された可堯性を有する第二の梁部と、 前記第一の梁部および前記第二の梁部によって少なくとも二以上の方向に変位可能に支持される錘部と、 前記錘部の変位に基づいて当該錘部に作用する力学量を検出する検出部とを備え、 前記錘部は、前記第一の軸方向回りにおける回転し易さと前記第二の軸方向回りにおける回転し易さとに差が生じる態様で、前記第一の梁部および前記第二の梁部に支持されている 検出素子。

IPC (6)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00 ,  G01P 15/18

FI (6)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00 ,  G01P15/00 K

F-Term (30)：

2F105AA08 ,  2F105BB03 ,  2F105BB17 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13 ,  3C081AA01 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA09 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20