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J-GLOBAL ID：201003059227841851

半導体装置及びその製造方法

Inventor： 池淵 義徳
Applicant, Patent owner： エルピーダメモリ株式会社
Agent (4)： 鷲頭 光宏 ,  緒方 和文 ,  黒瀬 泰之 ,  三谷 拓也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009123020
Publication number (International publication number)：2010272679
Application date： May. 21, 2009
Publication date： Dec. 02, 2010
Summary：

【課題】導電層を自己整合的に形成する場合において、第1の拡散層コンタクトプラグのコンタクトマージンを比較的大きく取る。【解決手段】半導体装置10は、第1のシリコンピラー14Aと、第1のシリコンピラー14Aの上面に設けられ、導電性材料が充填されたスルーホール30aを有する層間絶縁膜30と、スルーホール30aの上側開口部に設けられた第1の拡散層コンタクトプラグDC1とを備え、スルーホール30aの下側開口部の面積は前記第1のシリコンピラー14Aの上面の面積に等しくなっているとともに、スルーホール30aの上側開口部の面積はスルーホール30aの下側開口部の面積より大きくなっており、それによって、スルーホール30a内の導電性材料の第1の拡散層コンタクトプラグDC1との接続面の面積が第1のシリコンピラー14Aの上面の面積より大きくなっている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板の主面に対してほぼ垂直に形成された第1のシリコンピラーと、 前記主面を覆う層間絶縁膜とを備え、 前記層間絶縁膜は、前記第1のシリコンピラーの上面に設けられ、かつ導電性材料が充填されたスルーホールを有し、 前記第1のシリコンピラーの上部及び下部にそれぞれ形成された第1及び第2の拡散層と、 前記スルーホールの上側開口部に設けられた第1の拡散層コンタクトプラグと、 第1のゲート絶縁膜を介して前記第1のシリコンピラーの側面を覆うゲート電極とをさらに備え、 前記スルーホールの下側開口部の面積は前記第1のシリコンピラーの上面の面積に等しくなっているとともに、前記スルーホールの上側開口部の面積は前記スルーホールの下側開口部の面積より大きくなっており、それによって、前記スルーホール内の前記導電性材料の前記第1の拡散層コンタクトプラグとの接続面の面積が前記第1のシリコンピラーの上面の面積より大きくなっていることを特徴とする半導体装置。

IPC (8)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/824 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 21/336

FI (8)：

H01L29/78 301X ,  H01L21/28 L ,  H01L27/10 671A ,  H01L29/50 M ,  H01L21/90 D ,  H01L29/78 653B ,  H01L29/78 652M ,  H01L29/78 301Y

F-Term (96)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD03 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD11 ,  4M104DD13 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD43 ,  4M104DD63 ,  4M104DD75 ,  4M104DD80 ,  4M104DD81 ,  4M104EE09 ,  4M104EE17 ,  4M104FF04 ,  4M104FF23 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  5F033JJ04 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033NN05 ,  5F033NN30 ,  5F033NN33 ,  5F033PP06 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ21 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR06 ,  5F033SS13 ,  5F033TT07 ,  5F033XX03 ,  5F033XX31 ,  5F083AD06 ,  5F083GA27 ,  5F083LA21 ,  5F083MA06 ,  5F083MA16 ,  5F083MA17 ,  5F083MA20 ,  5F083NA01 ,  5F083PR05 ,  5F083PR06 ,  5F083PR07 ,  5F083PR09 ,  5F083PR10 ,  5F083PR21 ,  5F083PR29 ,  5F083PR34 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA28 ,  5F140AA39 ,  5F140AB01 ,  5F140AC23 ,  5F140AC32 ,  5F140BA01 ,  5F140BB04 ,  5F140BC15 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF43 ,  5F140BF54 ,  5F140BF60 ,  5F140BG28 ,  5F140BG38 ,  5F140BG46 ,  5F140BH28 ,  5F140BH30 ,  5F140BH47 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ27 ,  5F140BJ28 ,  5F140BK13 ,  5F140BK26 ,  5F140BK32 ,  5F140BK33 ,  5F140CB04 ,  5F140CC03 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20